半導(dǎo)體工業(yè)用的氣體統(tǒng)稱電子氣體。按其門類可分為純氣，高純氣和半導(dǎo)體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延，摻雜和蝕刻工藝；高純氣體主要用作稀釋氣和運(yùn)載氣。電子氣體是特種氣體的一個(gè)重要分支。電子氣體按純度等級(jí)和使用場(chǎng)合，可分為電子級(jí)，LSI（大規(guī)模集成電路）級(jí)，VLSI（超大規(guī)模集成電路)級(jí)和ULSI(特大規(guī)模集成電路）級(jí)。

電子氣體是發(fā)展集成電路、光電子、微電子，特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程中不可缺少的基礎(chǔ)性支撐源材料，它被稱為電子工業(yè)的“血液”和“糧食”，它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標(biāo)和成品率，并從根本上制約著電路和器件的精確性和準(zhǔn)確性 。

電子氣體在半導(dǎo)體工業(yè)體系中扮演著至關(guān)重要的角色，其作用主要有以下幾個(gè)方面：

摻雜控制：電子氣體可通過不同的摻雜方式（如n型摻雜或p型摻雜）改變半導(dǎo)體材料的電性質(zhì)，從而調(diào)節(jié)半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能。

半導(dǎo)體器件中的電子傳輸：在半導(dǎo)體器件中，電子氣體參與了電流的傳輸和控制，如在晶體管、二極管等器件中，電子的運(yùn)動(dòng)和導(dǎo)電性能直接影響了器件的性能和工作狀態(tài)。

能帶結(jié)構(gòu)：電子氣體與半導(dǎo)體材料的能帶結(jié)構(gòu)密切相關(guān)，電子在半導(dǎo)體能帶中的位置決定了材料的導(dǎo)電性質(zhì)，例如導(dǎo)帶中的自由電子導(dǎo)致了半導(dǎo)體的導(dǎo)電性。

光電應(yīng)用中的激子形成：在光電器件中，電子氣體參與了激子的形成過程，激子由電子和空穴組成，對(duì)于太陽能電池、LED等器件的性能具有重要影響。

綜上所述，電子氣體在半導(dǎo)體工業(yè)體系中的作用是多方面的，影響著半導(dǎo)體材料的電性質(zhì)、器件的性能以及光電器件的工作原理，是半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)展中不可或缺的重要因素。